设备型号 |
YAD-50自动下蜡机 |
YAD-59自动下蜡机 |
陶瓷盘规格(mm) |
Ø360 或 Ø485 |
Ø485 或 Ø590 |
适用晶片尺寸 |
4~8英寸 |
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每片最快下片时间 |
60秒 |
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设备电源 |
380V 3P 50/60Hz |
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压缩空气 |
5kgf / cm2 ( Oil less ) |
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PCW |
5-20L/min,0.1-0.3MPa |
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设备尺寸(mm) |
2800(W)×2200(L)×2,300(H) |
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设备重量 |
2,000kg |
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主要功能 |
陶瓷盘自动加载和下载功能 陶瓷盘自动加热和冷却 去蜡水和DI水喷淋 自动排列系统,晶片自动对准Cassette SMC气动元件,衬底从陶瓷盘上安全剥离 三菱电机PLC控制系统 |
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